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专业知识 / QUESTION
04/10
2019

真空室漏气或漏水,真空室内有挥发的成分,没有充入氩气,充入空气或其他其他,可能引起中毒,这些成分与靶材反应,变成黑色覆盖靶材表面,影响成膜速度。

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