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镀膜时金属靶材中毒严重,为什么?怎样避免以及中毒后靶材怎么处理?

发表时间:2019-04-10 15:58

中毒原因:

真空室漏气或漏水,真空室内有挥发的成分,没有充入氩气,充入空气或其他其他,可能引起中毒,这些成分与靶材反应,变成黑色覆盖靶材表面,影响成膜速度。
解决办法:

将靶材用中频源或射频源打一两个小时,可以恢复;
将靶材拆出来,用砂纸抛光,也可解决;
防止靶材中毒,首先保证真空室不漏,清理内部,除去挥发成分等。

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